對泵的修理,可慮從減小它的間隙公差著手。一首先,設(shè)法改變它的偏心值:把中間軸套換一偏心套,使上切點間隙減小到0 02 mm;將高真空
室泵腔研磨去Q 03 mm,低真空室泵腔研磨去0 04 mm.清洗后倒放在平臺上組裝(不打定位銷),邊組裝邊用手盤動泵輪,并以對角均勻原則擰緊緊固螺釘。根據(jù)經(jīng)驗,如果轉(zhuǎn)子外表是正圓形,則轉(zhuǎn)動泵輪時,不管到那一點,均不應(yīng)有阻滯費力的感覺;但如果裝配不正或轉(zhuǎn)子外表為橢圓形,在轉(zhuǎn)動泵輪時,就會發(fā)生半周輪重、半周輪輕的感覺。該泵裝配間隙減的很小,裝配時稍有不慎,就裝不正,這樣由于摩擦發(fā)熱等原因,就容易在運轉(zhuǎn)中卡死或研壞。所以要認(rèn)真、細致地裝配。在裝完后試抽,其真空度用熱偶真空計測達82格,由曲線查得相當(dāng)于8X103托,麥?zhǔn)嫌嫓y達2X 104托以上。運轉(zhuǎn)一段時間后真空度還略有提高。
常用真空泵的號
國產(chǎn)真空泵是由基本型號和輔助型兩部分組成,兩者中間為一橫線。國產(chǎn)真空泵的表達型式為123—456。格中數(shù)字123表示基本型號,456表示輔助型號。國產(chǎn)真空泵的型號通常以表3-2中的漢語拼音字母來表示。若在拼音字母前冠以“2”字,則表示真空泵在結(jié)構(gòu)上為雙級泵。
真空泵的市場根據(jù)用戶的需要發(fā)生動態(tài)變化
從全球真空泵市場看來,各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展,真空泵的市場根據(jù)用戶的需要發(fā)生動態(tài)變化。真空泵市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展,從而帶動干真空泵應(yīng)用領(lǐng)域的需求量日益擴大。據(jù)威特真空泵不wq統(tǒng)計,目前國產(chǎn)干真空泵的應(yīng)用還不足1%,由于國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干真空泵全部從國外進口,價格十分昂貴。所以,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干真空泵,使干真空泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。
國內(nèi)真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使真空泵不能正常工作。因而使用適當(dāng)型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。